Lieu d'origine:
Chine
Nom de marque:
KACISE
Certification:
CE
Numéro de modèle:
Le numéro de téléphone de l'établissement:
Le détecteur de gaz infrarouge KGD - MQ - 536
Introduction du produit
Le capteur de gaz infrarouge KGD - MQ - 536 est basé sur la technologie infrarouge non dispersif (NDIR). Il peut mesurer avec précision des gaz tels que WF6, CF4, SF6, NF3,et CO2 générés dans les applications de semi-conducteursIl est compatible avec les dimensions prédéfinies, les brides et les protocoles de communication communs à l'intérieur des équipements. Il peut être utilisé pour la détection des points d'extrémité dans les processus de dépôt et de nettoyage des semi-conducteurs,ainsi que la détection de terminaux pour le nettoyage des chambres, ce qui permet de réduire le temps de nettoyage, de réduire les coûts et d'augmenter la production.
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Caractéristiques du produit
Paramètres techniques
| Paramètre | Détails |
| Principe de détection | Résultats de l'enquête |
| Gaz détectés | Les émissions de gaz à effet de serre sont calculées à partir de l'échantillon de CO2 |
| Plage de mesure | Pour les appareils à combustion électrique |
| Répétabilité | ± 0,5% |
| Linearité | ± 1% F.S. |
| Limites de détection | 1 ppm |
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