Lieu d'origine:
Chine
Nom de marque:
KACISE
Certification:
CE
Numéro de modèle:
Le numéro de téléphone de l'établissement:
Le détecteur de gaz infrarouge KGD - MQ - 537
Introduction du produit
Le capteur de gaz infrarouge KGD - MQ - 537 est basé sur la technologie infrarouge non dispersif (NDIR). Il peut mesurer avec précision les gaz tels que SiF4, CF4, SF6, NF3,et CO2 générés dans les applications de semi-conducteursIl est compatible avec les dimensions prédéfinies, les brides et les protocoles de communication communs à l'intérieur des équipements. Il peut être utilisé pour la détection des points d'extrémité dans les processus de dépôt et de nettoyage des semi-conducteurs,ainsi que la détection de terminaux pour le nettoyage des chambres, contribuant à réduire le temps de nettoyage, à réduire les coûts et à augmenter la production.
Caractéristiques du produit
Paramètres techniques
Paramètre | Détails |
Principe de détection | Résultats de l'enquête |
Gaz détectés | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Plage de mesure | Pour les appareils à combustion électrique |
Répétabilité | ± 0,5% |
Linearité | ± 1% F.S. |
Limites de détection | 1 ppm |
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