Lieu d'origine:
Chine
Nom de marque:
KACISE
Certification:
CE
Numéro de modèle:
Le numéro de téléphone de l'établissement:
Attribut | Valeur |
---|---|
Principe de détection | NDIR |
Gaz détectés | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Plage de mesure | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
Répétabilité | ±0.5% |
Linéarité | ±1% F.S. |
Limite de détection | 1 ppm |
Le capteur de gaz infrarouge KGD - MQ - 537 est basé sur la technologie infrarouge non dispersive (NDIR). Il peut mesurer avec précision les gaz tels que SiF4, CF4, SF6, NF3 et CO2 générés dans les applications de semi-conducteurs. Il est compatible avec les dimensions, brides et protocoles de communication pré-réglés courants au sein des équipements. Il peut être utilisé pour la détection de point final dans les processus de dépôt et de nettoyage des semi-conducteurs, ainsi que pour la détection terminale pour le nettoyage des chambres, ce qui permet de réduire le temps de nettoyage, de réduire les coûts et d'augmenter la production.
Paramètre | Détails |
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Principe de détection | NDIR |
Gaz détectés | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Plage de mesure | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
Répétabilité | ±0.5% |
Linéarité | ±1% F.S. |
Limite de détection | 1 ppm |
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