Lieu d'origine:
Chine
Nom de marque:
KACISE
Certification:
CE
Numéro de modèle:
Le numéro de téléphone de l'établissement:
Le capteur de gaz infrarouge KGD-MQ-537 utilise la technologie infrarouge non dispersive (NDIR) pour mesurer avec précision les gaz, notamment SiF4, CF4, SF6, NF3 et CO2, dans les applications de semi-conducteurs. Conçu pour être compatible avec les dimensions d'équipement, les brides et les protocoles de communication courants, ce capteur est idéal pour la détection des points finaux dans les processus de dépôt et de nettoyage de semi-conducteurs, ainsi que pour la détection des terminaux pour le nettoyage des chambres, contribuant ainsi à réduire le temps de nettoyage, à réduire les coûts et à augmenter la production.
| Paramètre | Détails |
|---|---|
| Principe de détection | NDIR |
| Gaz détectés | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Plage de mesure | 1-264 ppm (0-200 mTorr) |
| Répétabilité | ±0,5% |
| Linéarité | ±1 % FS |
| Limite de détection | 1 ppm |
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